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API公司XD系列激光干涉儀型號(hào)：

        一維測(cè)量系統(tǒng)XD –1D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
        三維測(cè)量系統(tǒng)XD –3D
        五維測(cè)量系統(tǒng)XD –5D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
        六維測(cè)量系統(tǒng)XD –6D 標(biāo)準(zhǔn)型&精密型

良好的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

API公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì)，將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開(kāi)，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤(pán)定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測(cè)量準(zhǔn)確性。

主要特性：

??一次安裝能測(cè)量6項(xiàng)精度指標(biāo)包括線性定位誤差、XX及YY兩個(gè)方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
??把反射鏡換成五棱鏡既可測(cè)量?jī)奢S間垂直度
??兩點(diǎn)調(diào)光線.無(wú)需三腳架. 測(cè)量調(diào)整簡(jiǎn)單快速
??傳統(tǒng)激光干涉儀測(cè)量20項(xiàng)精度指標(biāo)(三軸)，約需3天的時(shí)間；API干涉儀只約需半天!
??測(cè)量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺(tái)時(shí), 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機(jī)床裝配調(diào)試

六維測(cè)量系統(tǒng)XD –6D激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

  5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
  1. 線性：0.5ppm .
  2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米)
  3. 線性分辨力：0.001um.
  4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
  5. *大范圍：800角秒
  6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
  7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
  8. 直線度*大范圍：500um
  9. 垂直度精度：1角秒
  10. 溫度精度：0.2攝氏度
  11.濕度精度：5%
  12.壓力精度：1mmHg

圖1：六維測(cè)量系統(tǒng)XD –6D激光干涉儀

儀器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉儀的各項(xiàng)參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國(guó)家和標(biāo)準(zhǔn)上的。這些精度都經(jīng)過(guò)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和德國(guó)PTB等機(jī)構(gòu)的檢驗(yàn)。
攜帶方便、操作簡(jiǎn)單：
全套系統(tǒng)重量?jī)H為15千克.可以裝入一個(gè)小型工具箱內(nèi)。由于采用了湊型設(shè)計(jì).XD Laser體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)無(wú)需使用三 腳架，使測(cè)量基準(zhǔn)與機(jī)床的加工基準(zhǔn)保持一致，簡(jiǎn)化了測(cè)量程序 (免拆機(jī)床護(hù)罩)。集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟， 減少了調(diào)整時(shí)間，提高了機(jī)床使用效率。
連續(xù)生產(chǎn)與*方案：
為了避免突然停機(jī)、停產(chǎn)，API公司為現(xiàn)代化的機(jī)加工車間提供*測(cè)量解決方案，也就是*方案。長(zhǎng)期以來(lái).車間管理人員一直以1D激光測(cè)量系統(tǒng)來(lái)繪制機(jī)床誤差圖及進(jìn)行校準(zhǔn)。而這樣一來(lái)，想要測(cè)量完整的21項(xiàng)參數(shù)。則需要進(jìn)行21到24次單獨(dú)的安裝調(diào)試.而且每一軸的每一次測(cè)量都需要1-2小時(shí)時(shí)間.因此，整個(gè)機(jī)床的測(cè)量過(guò)程通常要占用兩到三個(gè)工作日.這就使得機(jī)床長(zhǎng)時(shí)間處于停工狀態(tài)，嚴(yán)重影響了車間的利潤(rùn)率和生產(chǎn)能力。采用API公司的XD Laser激光干涉儀就*避免了上述缺陷使得對(duì)機(jī)床的測(cè)量快捷、簡(jiǎn)便。